Spesifikasiya | LMT-XY-200X200 | ABVT-Z20 (Hava daşıyan dəmir yolu) |
Motor növü | Üç fazalı dəmirsiz motor | Səs bobininin motoru+ |
Görüntü imkanı | Defolt 100nm rəqəmsal kəmiyyət | 1vpp 5nm-ə qədər |
Motor gücü | Davamlı 60N/pik 210N | Davamlı 60N/pik 210N |
Minimum addım ölçüsü[nm] | 200nm | 100nm |
Səyahət [mm] | 200×200 | 10 |
Təkrarlanma qabiliyyəti [um] | ±0,3 | |
Mövqe Dəqiqliyi [um] | ±1 | ±0,5 |
Düzlük [um] | 10um | 5um |
Düzlük [um] | 1um | 1um |
Maksimum sürət [mm/s] | 500 mm/s | 30 mm/s |
Yük tutumu [kq] | 5 kq (pnevmatik sabit qüvvə balans çəkisi ilə Z oxu) |